ISO 14644-3 adalah Standar Internasional mengenai ruang bersih (Cleanrooms) dan lingkungan terkontrol, khususnya tentang metode pengujian.
Versi terbaru yang masih berlaku dari standar ini adalah terbitan tahun 2019 dengan judul berikut :
- ISO 14644-3:2019 Cleanrooms and associated controlled environments — Part 3: Test methods
Standar ISO 14644-3:2019
Sebagaimana tercantum dalam Klausa “1 Scope : Lingkup”, bahwa :
Dokumen ini menyediakan metode pengujian untuk mendukung operasi kamar bersih dan zona bersih untuk memenuhi klasifikasi kebersihan udara, atribut kebersihan lainnya, dan kondisi terkontrol terkait.
Tes kinerja ditentukan untuk dua jenis ruang bersih dan zona bersih: ruang dengan aliran udara searah (unidirectional airflow) dan dengan aliran udara tidak searah (non-unidirectional airflow), dalam tiga kemungkinan status hunian: terpasang, diam, dan operasional (as-built, at-rest and operational).
Metode pengujian, peralatan uji yang direkomendasikan, dan prosedur pengujian untuk menentukan parameter kinerja disediakan.
Jika metode pengujian dipengaruhi oleh jenis kamar bersih atau zona bersih, prosedur alternatif disarankan.
Untuk beberapa pengujian, beberapa metode dan peralatan yang berbeda direkomendasikan untuk mengakomodasi pertimbangan penggunaan akhir yang berbeda.
Metode alternatif yang tidak termasuk dalam dokumen ini dapat digunakan dengan kesepakatan antara pelanggan dan pemasok.
Metode alternatif tidak selalu memberikan pengukuran yang setara.
Dokumen ini tidak berlaku untuk pengukuran produk atau proses di ruang bersih, zona bersih, atau perangkat pemisah.
Catatan :
- Dokumen ini tidak dimaksudkan untuk membahas pertimbangan keselamatan yang terkait dengan penggunaannya (misalnya, saat menggunakan bahan, operasi, dan peralatan berbahaya).
- Ini adalah tanggung jawab pengguna dokumen ini untuk menetapkan praktik keselamatan dan kesehatan yang sesuai dan untuk menentukan penerapan batasan peraturan sebelum digunakan.
Penerbitan Standar ISO 14644-3:2019
Standar ini diterbitkan dan dipublikasikan pada Agustus 2019, berupa dokumen edisi 2 dengan jumlah halaman sebanyak 52 lembar.
Disusun oleh :
- Technical Committee ISO/TC 209 Cleanrooms and associated controlled environments, atau : Komite Teknis ISO/TC 209 Kamar bersih dan lingkungan terkontrol terkait.
ICS :
- 13.040.35 Cleanrooms and associated controlled environments, atau : 13.040,35 Kamar bersih dan lingkungan terkontrol terkait
Standar ini berkontribusi pada Tujuan Pembangunan Berkelanjutan atau Sustainable Development Goal berikut:
- Kesehatan dan lingkungan yang baik
- Industri, inovasi dan infrastruktur
Dengan terbitnya standar ini, maka standar sebelumnya dinyatakan tidak berlaku dan ditarik yakni ISO 14644-3:2005.
Sebagaimana standar ISO lainnya, ISO 14644-3:2019 ini juga ditinjau setiap 5 tahun dan peninjauan sudah mencapai tahap 60,60.
Isi Standar ISO 14644-3:2019
Berikut adalah kutipan isi Standar ISO 14644-3:2019 yang diambil dari Online Browsing Platform (OBP) dari situs resmi iso.org.
Yang ditambah dengan berbagai keterangan dan informasi untuk mempermudah pemahaman pembaca.
Hanya bagian standar yang informatif yang tersedia untuk umum, OBP hanya menampilkan hingga klausa 3 saja.
Oleh karena itu, untuk melihat konten lengkap dari standar ini, maka pembaca harus membeli standar dari ISO ini secara resmi.
Daftar Isi Standar ISO 14644-3:2019
- Foreword
- Introduction
- 1 Scope
- 2 Normative references
- 3 Terms and definitions
- 3.1 General terms
- 3.2 Terms related to airborne particles
- 3.3 Terms related to air filters and systems
- 3.4 Terms related to airflow and other physical states
- 3.5 Terms related to electrostatic measurement
- 3.6 Terms related to measuring apparatus and measuring conditions
- 3.7 Terms related to occupancy states
- 4 Test procedures
- 4.1 Cleanroom tests
- 4.2 Principle
- 5 Test reports
- Annex A Choice of supporting tests and checklist
- A.1 General
- A.2 Test checklist
- A.3 Planning for testing and verification
- Annex B Supporting test methods
- B.1 Air pressure difference test
- B.2 Airflow test
- B.3 Airflow direction test and visualization
- B.4 Recovery test
- B.5 Temperature test
- B.6 Humidity test
- B.7 Installed filter system leakage test
- B.8 Containment leak test
- B.9 Electrostatic and ion generator tests
- B.10 Particle deposition test
- B.11 Segregation test
- Annex C Test apparatus
- C.1 General
- C.2 Air pressure difference test
- C.3 Airflow test
- C.4 Airflow direction test and visualization
- C.5 Recovery test
- C.6 Temperature test
- C.7 Humidity test
- C.8 Installed filter system leakage test
- C.9 Containment leak test
- C.10 Electrostatic and ion generator test
- C.11 Particle deposition test
- C.12 Segregation test
- Bibliography
Foreword : Kata pengantar
ISO (Organisasi Internasional untuk Standardisasi) adalah federasi badan standar nasional (badan anggota ISO) di seluruh dunia.
Pekerjaan mempersiapkan Standar Internasional biasanya dilakukan melalui komite teknis ISO.
Setiap badan anggota yang tertarik pada suatu topik yang untuknya komite teknis telah dibentuk berhak untuk diwakili dalam komite tersebut.
Organisasi internasional, pemerintah dan non-pemerintah, bekerja sama dengan ISO, juga ambil bagian dalam pekerjaan tersebut.
ISO bekerja sama erat dengan International Electrotechnical Commission (IEC) dalam semua masalah standardisasi elektroteknik.
Prosedur yang digunakan untuk mengembangkan dokumen ini dan yang dimaksudkan untuk pemeliharaan lebih lanjut dijelaskan dalam Arahan ISO/IEC, Bagian 1.
Secara khusus, kriteria persetujuan yang berbeda yang diperlukan untuk berbagai jenis dokumen ISO harus diperhatikan.
Dokumen ini disusun sesuai dengan aturan editorial Arahan ISO/IEC, Bagian 2 (lihat www.iso.org/directives).
Perhatian diberikan pada kemungkinan bahwa beberapa elemen dari dokumen ini dapat menjadi subyek hak paten.
ISO tidak bertanggung jawab untuk mengidentifikasi salah satu atau semua hak paten tersebut.
Rincian hak paten apa pun yang diidentifikasi selama pengembangan dokumen akan ada di Pendahuluan dan/atau pada daftar pernyataan paten ISO yang diterima (lihat www.iso.org/patents).
Setiap nama dagang yang digunakan dalam dokumen ini adalah informasi yang diberikan untuk kenyamanan pengguna dan bukan merupakan suatu dukungan.
Tersedia pula halaman www.iso.org/iso/foreword.html untuk :
- penjelasan tentang arti istilah dan ekspresi khusus ISO yang terkait dengan penilaian kesesuaian,
- informasi tentang kepatuhan ISO terhadap prinsip-prinsip WTO dalam Technical Barriers to Trade (TBT).
Dokumen ini disiapkan oleh :
- ISO/TC 209, Cleanrooms and associated controlled environments
- atau : ISO/TC 209, Cleanrooms dan lingkungan terkontrol terkait.
Perubahan Standar
Edisi kedua ISO 14644-3 ini membatalkan dan menggantikan edisi pertama (ISO 14644-3:2005), yang telah direvisi secara teknis. Perubahan utama dibandingkan dengan edisi sebelumnya adalah sebagai berikut:
- — Klausul B.7 telah disederhanakan dan dikoreksi untuk mengatasi masalah kompleksitas dan kesalahan yang dicatat;
- — panduan mengenai klasifikasi kebersihan udara berdasarkan konsentrasi partikel di udara telah dipindahkan ke 14644-1[1]
- — teks seluruh dokumen telah direvisi atau diklarifikasi untuk membantu penerapannya.
Daftar semua bagian dalam seri ISO 14644 dapat ditemukan di situs web ISO.
Versi ISO 14644-3:2019 yang dikoreksi ini menggabungkan koreksi berikut:
- — referensi silang telah dikoreksi pada Tabel A.1, B.4.4, C.1, C.4.2 dan C.4.3;
- — kata-kata telah diubah dalam B.2.1 a), Tabel B.2;
- — Gambar B.2 lama telah dihapus.
Mengenal ISO, IEC, WTO dan TBT Agreement
ISO (International Organization for Standardization) adalah suatu organisasi atau lembaga nirlaba internasional,
Tujuan dari ISO adalah untuk membuat dan memperkenalkan standar dan standardisasi internasional untuk berbagai tujuan.
Sebagaimana ISO, IEC juga merupakan suatu organisasi standardisasi internasional yang menyusun dan menerbitkan standar-standar internasional.
Namun ruang lingkupnya adalah untuk seluruh bidang elektrik, elektronik dan teknologi yang terkait atau bidang teknologi elektro (electrotechnology).
TBT Agreement (Technical Barriers to Trade) adalah perjanjian internasional mengenai hambatan teknis perdagangan di bawah kerangka Organisasi WTO (World Trade Organization).
WTO (World Trade Organization) adalah sebuah organisasi resmi internasional yang mengatur standar sistem perdagangan bebas di dunia.
Lebih jelas mengenai ISO, IEC, WTO dan TBT Agreement dapat dibaca pada artikel lain dari standarku.com berikut :
- Mengenal organisasi ISO, standardisasi internasional
- Standar IEC
- TBT Agreement, Standar Teknis Perdagangan
- Standar World Trade Organization
Introduction : Pengenalan Standar
Ruang bersih dan lingkungan terkontrol terkait memberikan kontrol kontaminasi ke tingkat yang sesuai untuk menyelesaikan aktivitas yang sensitif terhadap kontaminasi.
Produk dan proses yang mendapat manfaat dari pengendalian kontaminasi udara termasuk yang ada di industri seperti dirgantara, mikroelektronika, farmasi, peralatan medis, perawatan kesehatan, dan makanan.
Dokumen ini menetapkan metode pengujian yang sesuai untuk mengukur kinerja ruang bersih, zona bersih atau lingkungan terkendali terkait, termasuk perangkat pemisah dan zona terkendali, bersama dengan semua struktur terkait, sistem pengolahan udara, layanan, dan utilitas.
Catatan :
- Tidak semua prosedur pengujian parameter ruang bersih ditampilkan dalam dokumen ini.
- Prosedur dan peralatan untuk pengujian yang dilakukan untuk kelas kebersihan udara menurut konsentrasi partikel dan untuk partikel makro disediakan dalam ISO 14644-1,dan spesifikasi untuk memantau kebersihan udara menurut konsentrasi partikel skala nano disediakan dalam ISO 14644-12.
- Prosedur dan peralatan untuk mengkarakterisasi parameter lain, yang menjadi perhatian di ruang bersih dan zona bersih yang digunakan untuk produk atau proses tertentu, dibahas di tempat lain dalam dokumen lain yang disiapkan oleh ISO/TC 209 [misalnya, prosedur untuk pengendalian dan pengukuran bahan yang layak (ISO 14698 seri), pengujian fungsionalitas ruang bersih (ISO 14644-4[3]), dan pengujian perangkat pemisah (ISO 14644-7)].
- Selain itu, standar lain dapat dianggap dapat diterapkan.
- Tingkat atribut kebersihan lainnya dapat ditentukan menggunakan ISO 14644-8 (tingkat kebersihan udara menurut bahan kimia), ISO 14644-9 (tingkat kebersihan permukaan berdasarkan konsentrasi partikel) dan ISO 14644-10 (tingkat kebersihan permukaan dengan konsentrasi kimia).
ISO 14644-3:2019 Klausa 1-3
1 Scope : Lingkup
Klausa ini sudah tercantum di bagian awal artikel ini, pada paragraf berjudul “Standar ISO ”.
2 Normative references : Referensi normatif
Tidak ada referensi normatif dalam dokumen ini.
3 Terms and definitions : Istilah dan definisi
Untuk tujuan dokumen ini, istilah dan definisi berikut berlaku.
ISO dan IEC memelihara database terminologi untuk digunakan dalam standardisasi di alamat berikut:
- — Platform penjelajahan ISO Online: tersedia di https://www.iso.org/obp
- — IEC Electropedia: tersedia di http://www.electropedia.org/
3.1 General terms : Istilah umum
Klausa 3.1.1 – 3.1.2
3.1.1 cleanroom : ruangan bersih
ruangan di mana jumlah konsentrasi partikel di udara atau airborne particles (3.2.1) dikendalikan dan diklasifikasikan, dan yang dirancang, dibangun, dan dioperasikan dengan cara untuk mengontrol masuknya, timbul dan tertahannya partikel di dalam ruangan
Catatan :
- Kelas konsentrasi partikel di udara atau particle concentration (3.2.4) ditentukan.
- Tingkat atribut kebersihan lainnya seperti konsentrasi kimia, konsentrasi yang layak atau skala nano di udara, dan juga kebersihan permukaan dalam hal partikel, skala nano, bahan kimia dan konsentrasi yang layak juga dapat ditentukan dan dikendalikan.
- Parameter fisik lain yang relevan mungkin juga dikontrol sesuai kebutuhan, mis. suhu, kelembaban, tekanan, getaran dan elektrostatik.
[SUMBER:ISO 14644-1:2015, 3.1.1]
3.1.2 clean zone : zona bersih
ruang tertentu di mana jumlah konsentrasi partikel di udara (3.2.1) dikendalikan dan diklasifikasikan, dan yang dibangun dan dioperasikan dengan cara untuk mengontrol masuknya, timbul dan tertahannya kontaminan di dalam ruang
Catatan :
- Kelas konsentrasi partikel di udara (3.2.4) ditentukan.
- Tingkat atribut kebersihan lainnya seperti konsentrasi kimia, konsentrasi yang layak atau skala nano di udara, dan juga kebersihan permukaan dalam hal partikel, skala nano, bahan kimia dan konsentrasi yang layak juga dapat ditentukan dan dikendalikan.
- Zona bersih dapat berupa ruang yang ditentukan dalam ruang bersih atau cleanroom (3.1.1) atau dapat dicapai dengan perangkat pemisah. Perangkat semacam itu dapat ditempatkan di dalam atau di luar ruang bersih.
- Parameter fisik lain yang relevan mungkin juga dikontrol sesuai kebutuhan, mis. suhu, kelembaban, tekanan, getaran dan elektrostatik.
[SUMBER:ISO 14644-1:2015, 3.1.2]
Klausa 3.1.3 – 3.1.6
3.1.3 installation : instalasi
Cleanroom (3.1.1) atau satu atau lebih zona bersih (3.1.2), bersama dengan semua struktur terkait, sistem pengolahan udara, layanan dan utilitas
[SUMBER:ISO 14644-1:2015, 3.1.3]
3.1.4 separative device : perangkat pemisah
peralatan yang menggunakan sarana konstruksi dan dinamis untuk menciptakan tingkat pemisahan yang pasti antara bagian dalam dan luar dari volume yang ditentukan
- Catatan 1 : Beberapa contoh spesifik industri perangkat pemisah adalah tudung udara bersih, selungkup penahanan, kotak sarung tangan, isolator, dan lingkungan mini.
[SUMBER: ISO 14644-7:2004, 3.17]
3.1.5 resolution : resolusi
perubahan terkecil dalam kuantitas yang diukur yang menyebabkan perubahan nyata dalam indikasi yang sesuai
- Catatan 1 : Resolusi dapat bergantung pada, misalnya, kebisingan (internal atau eksternal) atau gesekan. Ini mungkin juga tergantung pada nilai kuantitas yang diukur.
[SUMBER:ISO 14644-1:2015, 3.4.1]
3.1.6 sensitivity : kepekaan
hasil bagi perubahan indikasi sistem pengukuran dan perubahan yang sesuai dalam nilai besaran yang diukur
3.2 Terms related to airborne particles : Istilah yang terkait dengan partikel di udara
3.2.1 airborne particle : partikel udara
benda padat atau cair yang tersuspensi di udara, layak atau tidak layak, berukuran antara 1 nm dan 100 m
- Catatan 1 : Untuk tujuan klasifikasi, lihat ISO 14644-1:2015, 3.2.1.
3.2.2 count median particle diameter : hitung diameter partikel median
diameter partikel median berdasarkan jumlah partikel
- Catatan 1 : Untuk median hitung, setengah dari jumlah partikel disumbangkan oleh partikel dengan ukuran lebih kecil dari ukuran median hitung, dan setengahnya oleh partikel yang lebih besar dari ukuran median hitung.
3.2.3 mass median particle diameter : diameter partikel median massa
diameter partikel median berdasarkan massa partikel
- Catatan 1 : Untuk median massa, setengah dari massa semua partikel disumbangkan oleh partikel dengan ukuran lebih kecil dari ukuran median massa, dan setengah oleh partikel yang lebih besar dari ukuran median massa.
3.2.4 particle concentration : konsentrasi partikel
jumlah partikel individu per satuan volume udara
[SUMBER:ISO 14644-1:2015, 3.2.3]
3.2.5 particle size : ukuran partikel
diameter bola yang menghasilkan respons, oleh instrumen ukuran partikel tertentu, yang setara dengan respons yang dihasilkan oleh partikel yang diukur
- Catatan 1 : Untuk instrumen partikel udara yang menyebarkan cahaya, digunakan diameter optik yang setara.
[SUMBER:ISO 14644-1:2015, 3.2.]
3.2.6 particle size distribution : distribusi ukuran partikel
distribusi kumulatif konsentrasi partikel (3.2.4) sebagai fungsi ukuran partikel (3.2.5)
[SUMBER:ISO 14644-1:2015, 3.2.4]
3.2.7 test aerosol : uji aerosol
suspensi gas dari partikel padat dan/atau cair dengan distribusi dan konsentrasi ukuran yang diketahui dan terkontrol
3.3 Terms related to air filters and systems : Istilah yang terkait dengan filter dan sistem udara
3.3.1 aerosol challenge : tantangan aerosol
tantangan filter atau sistem filter terpasang (3.3.6) dengan uji aerosol (3.2.7)
3.3.2 designated leak : kebocoran yang ditentukan
penetrasi maksimum yang diizinkan, yang ditentukan oleh kesepakatan antara pelanggan dan pemasok, melalui kebocoran (3.3.8), yang dapat dideteksi selama pemindaian (3.3.9) dari instalasi filter (3.1.3) dengan penghitung partikel udara hamburan cahaya (LSAPC) ) atau fotometer aerosol (3.6.2)
3.3.3 dilution system : sistem pengenceran
sistem di mana aerosol dicampur dengan udara pengenceran bebas partikel dalam rasio volumetrik yang diketahui untuk mengurangi konsentrasi
3.3.4 filter system : sistem penyaringan
perakitan terdiri dari filter, bingkai dan mekanisme pendukung lainnya atau perumahan lainnya
3.3.5 final filter : filter akhir
filter pada posisi akhir sebelum udara memasuki ruang bersih (3.1.1) atau zona bersih (3.1.2)
3.3.6 installed filter system : sistem filter terpasang
sistem filter (3.3.4) dipasang di langit-langit, dinding, peralatan atau saluran
3.3.7 installed filter system leakage test : uji kebocoran sistem filter terpasang
pengujian dilakukan untuk memastikan bahwa filter dipasang dengan benar dengan memverifikasi bahwa tidak ada kebocoran bypass dari instalasi filter (3.1.3), dan bahwa filter dan sistem grid bebas dari cacat dan kebocoran (3.3.8)
3.3.8 leak : bocor
<sistem filter udara> penetrasi kontaminan yang melebihi nilai konsentrasi hilir yang diharapkan karena kurangnya integritas atau cacat
3.3.9 scanning : pemindaian
metode untuk mengungkapkan kebocoran (3.3.8) dalam filter dan bagian unit, di mana lubang masuk probe dari fotometer aerosol (3.6.2) atau penghitung partikel udara hamburan cahaya dipindahkan dalam gerakan yang tumpang tindih melintasi area pengujian yang ditentukan
3.4 Terms related to airflow and other physical states :Istilah yang terkait dengan aliran udara dan kondisi fisik lainnya
3.4.1 air change rate : tingkat pergantian udara
air exchange rate : nilai tukar udara
laju yang menyatakan jumlah pergantian udara per satuan waktu dan dihitung dengan membagi volume udara yang dikirim dalam satuan waktu dengan volume ruang bersih (3.1.1) atau zona bersih (3.1.2)
3.4.2 measuring plane : mengukur pesawat
luas penampang untuk menguji atau mengukur parameter kinerja seperti kecepatan aliran udara
3.4.3 non-unidirectional airflow : aliran udara tidak-searah
distribusi udara di mana udara pasokan memasuki ruang bersih (3.1.1) atau zona bersih (3.1.2) bercampur dengan udara internal dengan cara induksi
[SUMBER:ISO 14644-1:2015, 3.2.8]
3.4.4 supply air volume flow rate : suplai laju aliran volume udara
volume udara per unit waktu yang disuplai ke ruang bersih (3.1.1) atau zona bersih (3.1.2) dari filter akhir (3.3.5) atau saluran udara
3.4.5 total air volume flow rate : total laju aliran volume udara
volume udara per satuan waktu yang melewati bagian ruang bersih (3.1.1) atau zona bersih (3.1.2)
3.4.6 unidirectional airflow : aliran udara searah
aliran udara terkontrol melalui seluruh penampang ruang bersih (3.1.1) atau zona bersih (3.1.2) dengan kecepatan tetap dan aliran udara yang dianggap paralel
[SUMBER:ISO 14644-1:2015, 3.2.7]
3.4.7 uniformity of velocity : keseragaman kecepatan
pola aliran udara searah (3.4.6) di mana pembacaan kecepatan dari titik ke titik (kecepatan dan arah aliran udara) berada dalam persentase tertentu dari kecepatan aliran udara rata-rata
3.5 Terms related to electrostatic measurement : Istilah yang terkait dengan pengukuran elektrostatik
3.5.1 discharge time : waktu pengosongan
waktu yang diperlukan untuk mengurangi tegangan ke tingkat, positif atau negatif, yang awalnya diisi dengan pelat pemantau konduktif yang terisolasi
3.5.2 offset voltage : tegangan offset
tegangan yang terakumulasi pada pelat konduktif terisolasi yang awalnya tidak bermuatan ketika pelat tersebut terkena lingkungan udara terionisasi
3.5.3 static-dissipative property : properti statis-disipatif
kemampuan untuk mengurangi muatan elektrostatik pada permukaan kerja atau produk, sebagai akibat dari konduksi atau mekanisme lain ke nilai tertentu atau tingkat muatan nol nominal
3.5.4 surface voltage level : tingkat tegangan permukaan
tingkat tegangan positif atau negatif dari pengisian elektrostatik pada permukaan kerja atau produk, seperti yang ditunjukkan dengan penggunaan peralatan yang sesuai
3.6 Terms related to measuring apparatus and measuring conditions : Istilah yang terkait dengan alat ukur dan kondisi pengukuran
3.6.1 aerosol generator : generator aerosol
aparatus yang mampu menghasilkan partikel yang memiliki kisaran ukuran yang sesuai (misalnya 0,05 m hingga 2 m) pada konsentrasi konstan, yang dapat diproduksi dengan cara termal, hidrolik, pneumatik, akustik atau elektrostatik
3.6.2 aerosol photometer :fotometer aerosol
partikel udara hamburan cahaya (3.2.1) alat pengukur konsentrasi massa, yang menggunakan ruang optik cahaya hamburan maju untuk melakukan pengukuran
3.6.3 airflow capture hood with measuring device : kap penangkap aliran udara dengan alat pengukur
perangkat dengan peralatan untuk sepenuhnya menutupi filter atau diffuser udara, dan mengumpulkan udara untuk secara langsung mengukur laju aliran volume udara
3.6.4 LSAPC (light scattering airborne particle counter) : enghitung partikel udara hamburan cahaya
aparatus yang mampu menghitung dan mengukur partikel tunggal di udara (3.2.1) dan melaporkan data ukuran dalam hal diameter optik yang setara
- Catatan 1 : Spesifikasi untuk penghitung partikel diberikan dalam ISO 21501-4.
[SUMBER:ISO 14644-1:2015, 3.5.1, dimodifikasi — Istilah “penghitung partikel udara diskrit hamburan cahaya” telah dihapus. Catatan 1 untuk entri telah ditulis ulang.]
3.6.5 witness plate : piring saksi
bahan dengan luas permukaan tertentu yang digunakan sebagai pengganti evaluasi langsung dari permukaan tertentu yang tidak dapat diakses atau terlalu sensitif untuk ditangani
3.7 Terms related to occupancy states : Istilah yang terkait dengan status hunian
3.7.1 as-built : dibangun
kondisi di mana ruang bersih (3.1.1) atau zona bersih (3.1.2) lengkap dengan semua layanan yang terhubung dan berfungsi tetapi tanpa peralatan, perabotan, bahan atau personel yang ada
[SUMBER:ISO 14644-1:2015, 3.3.1]
3.7.2 at-rest : saat istirahat
kondisi di mana ruang bersih (3.1.1) atau zona bersih (3.1.2) lengkap dengan peralatan yang dipasang dan dioperasikan dengan cara yang disepakati, tetapi tanpa personel yang hadir
[SUMBER:ISO 14644-1:2015, 3.3.2]
3.7.3 operational : operasional
kondisi yang disepakati di mana ruang bersih (3.1.1) atau zona bersih (3.1.2) berfungsi dengan cara yang ditentukan, dengan peralatan yang beroperasi dan dengan jumlah personel yang ditentukan.
[SUMBER:ISO 14644-1:2015, 3.3.3]
Daftar Pustaka atau Bibliography
1 – 15
- [1] ISO 14644-1:2015, Cleanrooms and associated controlled environments — Part 1: Classification of air cleanliness by particle concentration
- [2] ISO 14644-2, Cleanrooms and associated controlled environments — Part 2: Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration
- [3] ISO 14644-4, Cleanrooms and associated controlled environments — Part 4: Design, construction and start-up
- [4] ISO 14644-7:2004, Cleanrooms and associated controlled environments — Part 7: Separative devices (clean air hoods, gloveboxes, isolators and mini-environments)
- [5] ISO 14644-8, Cleanrooms and associated controlled environments — Part 8: Classification of air cleanliness by chemical concentration (ACC)
- [6] ISO 14644-9, Cleanrooms and associated controlled environments — Part 9: Classification of surface cleanliness by particle concentration
- [7] ISO 14644-10, Cleanrooms and associated controlled environments — Part 10: Classification of surface cleanliness by chemical concentration
- [8] ISO 14644-12, Cleanrooms and associated controlled environments — Part 12: Specifications for monitoring air cleanliness by nanoscale particle concentration
- [9] ASME N510-1989, Testing of Nuclear Air-Treatment Systems
- [10] ASTM F24-00, Standard Method for Measuring and Counting Particulate Contamination on Surfaces
- [11] ASTM F50-92, Standard Practice for Continuous Sizing and Counting of Airborne Particles in Dust-Controlled Areas and Clean Rooms Using Instrument Capable of Detecting Single Sub-Micrometre and Larger Particles
- [12] ASTM F312-97, Standard Test Methods for Microscopical Sizing and Counting Particles from Aerospace Fluids on Membrane Filters
- [13] ASTM F1471-93, Standard Test Method for Air Cleaning Performance of a High-Efficiency Particulate Air-Filter System
- [14] Chemical Abstracts Service Registry, Columbus, Ohio, US: American Chemical Society
- [15] EN 1822-2, High efficiency air filters (HEPA and ULPA) — Part 2: Aerosol production, measuring equipment, particle counting statistics
16 – 29
- [16] EN 1822-4, High efficiency air filters (HEPA and ULPA) — Part 4: Determining leakage of filter element (scan method)
- [17] IEST-RP-CC001, 6:2016, HEPA and ULPA Filters
- [18] IEST-RP-CC006, 3:2004, Testing Cleanrooms
- [19] IEST-RP-CC007, 3:2016, Testing ULPA Filters
- [20] IEST-RP-CC021, 4:2016, Testing HEPA and ULPA Filter Media
- [21] IEST-RP-CC034, 4:2016, HEPA and ULPA Filter Leak Tests
- [22] ISO 5167-2, Measurement of fluid flow by means of pressure differential devices inserted in circular cross-section conduits running full — Part 2: Orifice plates
- [23] ISO 5167-4, Measurement of fluid flow by means of pressure differential devices inserted in circular cross-section conduits running full — Part 4: Venturi tubes
- [24] ISO 5167-5, Measurement of fluid flow by means of pressure differential devices inserted in circular cross-section conduits running full — Part 5: Cone meters
- [25] No JACA, 24:1989, Standardization and Evaluation of Clean Room Facilities
- [26] JIS B 9921, Light scattering automatic particle counter. Japanese Industrial Standards Committee
- [27] SEMI E14-93, Measurement of particle contamination contributed to the product from the process or support tool
- [28] ISO 7726, Ergonomics of the thermal environment — Instruments for measuring physical quantities
- [29] Evaluation of measurement data – Guide to the expression of the expression of uncertainty in measurement, JCGM 100:200, corrected version 2010, (GUM)
Penutup
Demikian artikel dari standarku.com mengenai Standar ISO 14644-3:2019.
Mohon saran dari pembaca untuk kelengkapan isi artikel ini, silahkan saran tersebut dapat disampaikan melalui kolom komentar.
Baca artikel lain :
- ISO 14644-1 klasifikasi kebersihan udara
- ISO 14644-2 pemantauan kebersihan udara
- International Organization for Standardization
- Memahami apa itu Standar ISO
- Standar IKECA untuk pembersihan Kitchen Exhaust
- Sistem Manajemen Lingkungan ISO 14001
- Pengertian 5S atau 5R
- Standar GMP Good Manufacturing Practices
- Memahami Standar Keamanan Pangan HACCP
Sumber referensi :